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需要預真空；有的真空泵入口壓力低于大氣壓，真空泵機組有的真空泵不能在大氣壓下工作。需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。經組合使用的真空泵，稱之為真空泵機組，能使真空系統得到較好的真空度及排氣量。應正確地選擇組合的真空泵，由于不同的真空泵對抽除的氣體要求有不同的要求，例如：一般情況下羅茨－旋片機組不適用于含有較多可凝性氣體的系統。